Импульсное нанесение пленок: (по данным отечественной и зарубежной печати) / [Б. А. Осадин]
| Автор: | Осадин, Б. А. |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1976 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Микроэлектроника ; 1976, вып. 4 |
Загрузка...