Оборудование для наращивания эпитаксиальных слоев кремния из газовой фазы / М. А. Барил, Ю. П. Ирошников, М. Ф. Егорова
| Автор: | Барил, М. А. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Ирошников, Ю. П., Егорова, М. Ф. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1971 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Серия: Микроэлектроника ; 1971, вып. 8 |
Загрузка...