Орбитронные геттерно-ионные насосы / В. Е. Минайчев, С. И. Мирошкин
| Автор: | Минайчев, В. Е. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Мирошкин, С. И. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : Институт "Электроника", 1970 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Серия: Микроэлектроника ; 1970, вып. 4 |
Загрузка...