Лучистый инфракрасный нагрев в полупроводниковом и микроэлектронном производстве / Ю. И. Прохоров, Ю. П. Ирошников
| Автор: | Прохоров, Ю. И. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Ирошников, Ю. П. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1973 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Серия: Микроэлектроника ; 1973, вып. 9 |
Загрузка...