Окисление металлов и полупроводников в низкотемпературной кислородной плазме: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1962―1977 гг.) / [В. А. Лабунов, В. П. Пархутик]
| Автор: | Лабунов, В. А. (род. 1939) |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Пархутик, В. П. (1951—2006) |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1978 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Микроэлектроника ; 1978, вып. 1 |
Загрузка...