Аналитическое приборостроение: физические исследования, автоматизация и технология производства тонких пленок: (материалы научно-технического семинара, декабрь 1984 г.): [сборник статей / научный редактор А. Г. Денисов]
| Другие авторы/ответственные: | Денисов, А. Г. |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : Электроника, 1984 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Тезисы докладов конференций
Технология, организация производства и оборудование ; вып. 3 (209) |
Загрузка...