Аналитическое приборостроение для микроэлестроники: технология получения тонких пленок, физические исследования, оборудование, программное обеспечение: (материалы научно-технического семинара, декабрь 1985 г.): [сборник статей / научный редактор А. Г. Денисов]
| Другие авторы/ответственные: | Денисов, А. Г. |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : Электроника, 1985 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Тезисы докладов конференций
Технология, организация производства и оборудование ; вып. 4 (224) |
Загрузка...