Приборостроение для микроэлектроники: технология, физика и диагностика тонкопленочных структур, компьютеризация приборов: (материалы научно-технического семинара, декабрь 1986 г.): [сборник статей / научный редактор О. Д. Протопопов]
| Другие авторы/ответственные: | Протопопов, О. Д. |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : Электроника, 1986 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Тезисы докладов конференций
Технология, организация производства и оборудование ; вып. 4 (246) |
Загрузка...