Физико-аналитическое оборудование в научных исследованиях и технологии современной микроэлектроники: (материалы научно-технического семинара, декабрь 1988 г.): [сборник статей / научный редактор Г. А. Шерозия]
| Другие авторы/ответственные: | Шерозия, Г. А. |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : Электроника, 1988 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Тезисы докладов конференций
Технология, организация производства и оборудование ; вып. 2 (276) |
Загрузка...