Методы и средства контроля полупроводниковых и диэлектрических структур: (материалы научно-технического совещания, сентябрь 1986 г.): [сборник статей / научный редактор В. Г. Тугарин]
| Другие авторы/ответственные: | Тугарин, В. Г. |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : Электроника, 1986 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Тезисы докладов конференций
Управление качеством, стандартизация, метрология, испытания ; вып. 2 (232) |
Загрузка...