Технология получения эпитаксиальных слоев соединений АIII BV методом пиролиза / [составители: П. С. Бугаенко, Т. С. Денисова
| Другие авторы/ответственные: | Бугаенко, П. С., Денисова, Т. С., Макарова, С. К. |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : Электроника, 1983 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Тематические указатели литературы
Материалы ; вып. 1 (351) |
Загрузка...