Травление и осаждение слоев с помощью химически активных частиц, создаваемых в плазме, отделенной от зоны обработки / В. И. Кузнецов
| Автор: | Кузнецов, В. И. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Киреев, В. Ю. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1992 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Микроэлектроника ; 1992, вып. 2 |
Загрузка...