Бесконтактные методы контроля толщины и неплоскостности полупроводниковых слоев: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1975―1980 гг.) / [составитель О. Н. Пономаренко
| Другие авторы/ответственные: | Пономаренко, О. Н., Дубровская, И. М. |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : Электроника, 1981 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Тематические указатели литературы
Микроэлектроника ; вып. 4 (323) |
Загрузка...