Дифракционные методы неразрушающего контроля реальной структуры эпитаксиальных и поликристаллических пленок в микроэлектронике / Г. Ф. Кузнецов, С. А. Семилетов
| Автор: | Кузнецов, Г. Ф. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Семилетов, С. А. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1975 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Микроэлектроника ; 1975, вып. 1 |
Загрузка...