Многослойные пленки резисторов в микролитографии: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1975―1985 гг.) / Ю. С. Боков, В. М. Фролов
| Автор: | Боков, Ю. С. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Фролов, В. М. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1985 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Микроэлектроника ; 1985, вып. 3 |
Загрузка...