Формирование элементов мегабитовых ДОЗУ. Ч. 2. Травление алюминия и его сплавов: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1980―1987 гг.) / А. В. Гусев, В. Ю. Киреев
| Автор: | Гусев, А. В. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Киреев, В. Ю. (1949— ), Данилин, Б. С. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1988 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Микроэлектроника ; 1988, вып. 3 |
Загрузка...