Ионолитография, особенности и перспективы развития: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1971―1983 гг.) / Ю. С. Боков, А. Н. Шокин
| Автор: | Боков, Ю. С. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Шокин, А. Н., Ржанов, В. Г. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1984 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Микроэлектроника ; 1984, вып. 6 |
Загрузка...