Кремниевые структуры с диэлектрической изоляцией для изделий микроэлектроники: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1975―1985 гг.) / Н. А. Брюхно [и др.]
| Автор: | Брюхно, Н. А. |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1987 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Микроэлектроника ; 1987, вып. 4 |
Загрузка...