Плазмохимические методы синтеза диэлектрических слоев в полупроводниковой технологии: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1979―1986 годы) / Ю. А. Голиков, Т. П. Смирнова, А. П. Соловьев
| Автор: | Голиков, Ю. А. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Смирнова, Т. П., Соловьев, А. П. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1986 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Микроэлектроника ; 1986, вып. 5 |
Загрузка...