Синхротронное излучение в микроэлектронике. Ч. 1. Свойства и применение в микроэлектронной технологии: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1985―1989 гг.) / Ю. М. Литвинов, С. Н. Мазуренко, В. М. Матвеев
| Автор: | Литвинов, Ю. М. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Мазуренко, С. Н., Матвеев, В. М., Сретенский, В. Н. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1989 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Микроэлектроника ; 1989, вып. 6 |
Загрузка...