Низкотемпературная плазма и ее применение в производстве ИЭТ: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1976―1981 гг.) / [составитель А. В. Дубравина]

Другие авторы/ответственные:	Дубравина, А. В.
Вид документа:	Периодические издания
Опубликовано:	Москва : Электроника, 1982
Язык:	Русский
Серия:	Тематические указатели литературы Технология, организация производства и оборудование ; вып. 2 (333)