Вакуумные сильноточные плазменные устройства и их применение в технологическом оборудовании микроэлектроники. Ч. 1. Физические основы / И. Г. Блинов [и. др.]
| Автор: | Блинов, И. Г. |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1974 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Серия: Микроэлектроника ; 1974, вып. 7 |
Загрузка...