Системы металлизации к кремниевым полупроводниковым приборам и интегральным схемам: (отечественная и иностранная литература за 1969—1973 гг.) / составители: Ижмякова Л. Ф., Щеглова В. В.

Другие авторы/ответственные:	Ижмякова, Л. Ф., Щеглова, В. В.
Вид документа:	Периодические издания
Опубликовано:	Москва : Электроника, 1974
Язык:	Русский
Серия:	Тематические указатели литературы Полупроводниковые приборы ; вып. 2 (112)