Ионно-лучевой метод введения примесей в полупроводниковой технологии. Ч. 2 / составители: Пинес Г. Э., Рокицкая Я. П.

Другие авторы/ответственные:	Пинес, Г. Э., Рокицкая, Я. П., Соркина, А. Б.
Вид документа:	Периодические издания
Опубликовано:	Москва : Электроника, 1971
Язык:	Русский
Серия:	Тематические указатели литературы Полупроводниковые приборы ; вып. 2 (166)