Поликристаллический кремний в полупроводниковой технологии: отечественная и иностранная литература за 1971—1976 гг. / составитель Ижмякова Л. Ф.

Другие авторы/ответственные:	Ижмякова, Л. Ф., Щеглова, В. В.
Вид документа:	Периодические издания
Опубликовано:	Москва : Электроника, 1977
Язык:	Русский
Серия:	Тематические указатели литературы Полупроводниковые приборы ; вып. 3 (191)