Фотошаблоны для интегральных схем: (отечественная, иностранная литература и патенты за 1965―1971 гг.) / [составители: Г. Б. Солуянова, Т. И. Нодельман

Другие авторы/ответственные:	Солуянова, Г. Б., Нодельман, Т. И., Федоров, В. С.
Вид документа:	Периодические издания
Опубликовано:	Москва : Электроника, 1972
Язык:	Русский
Серия:	Тематические указатели литературы Микроэлектроника ; вып. 1 (24)