Низкотемпературная плазма и ее применение в производстве ЭВП / [составитель А. В. Дубравина]
Другие авторы/ответственные: | Дубравина, А. В. |
---|---|
Вид документа: | Периодические издания |
Опубликовано: | Москва : Электроника, 1978 |
Язык: | Русский |
Серия: |
Тематические указатели литературы
Технология, организация производства и оборудование ; вып. 3 (224) |
Загрузка...