Плазмохимические процессы в микроэлектронике / [составители: Л. А. Бунькова, Л. В. Куратова

Другие авторы/ответственные:	Бунькова, Л. А., Куратова, Л. В., Рябов, С. Н.
Вид документа:	Периодические издания
Опубликовано:	Москва : Электроника, 1978
Язык:	Русский
Серия:	Тематические указатели литературы Технология, организация производства и оборудование ; вып. 4 (229)