Фото-, электроно-, рентгено- и лазерная литография в производстве интегральных микросхем / [составитель Р. А. Карпович

Другие авторы/ответственные:	Карпович, Р. А., Чечко, Л. И.
Вид документа:	Периодические издания
Опубликовано:	Москва : Электроника, 1976
Язык:	Русский
Серия:	Тематические указатели литературы Технология, организация производства. Оборудование ; вып. 10 (177)