Изготовление фотошаблонов для микроэлектроники / составитель Р. А. Карпович

Другие авторы/ответственные:	Карпович, Р. А., Круглова, Л. И.
Вид документа:	Периодические издания
Опубликовано:	Москва : Электроника, 1972
Язык:	Русский
Серия:	Тематические указатели литературы Серия: Технология, организация производства. Оборудование ; вып. 9 (15)