Фото-, электроно- и рентгенолитография в производстве интегральных схем / составитель Р. А. Карпович

Другие авторы/ответственные:	Карпович, Р. А., Чечко, Л. И.
Вид документа:	Периодические издания
Опубликовано:	Москва : Электроника, 1974
Язык:	Русский
Серия:	Тематические указатели литературы Серия: Технология, организация производства. Оборудование ; вып. 6 (94)