Получение тонких пленок методом катодного распыления / составитель Т. Н. Протопопова
| Другие авторы/ответственные: | Протопопова, Т. Н., Пельцман, М. И. |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : Электроника, 1970 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Тематические указатели литературы
Серия: Технология и организация производства ; вып. 11 (131) |
Загрузка...