Creation of thin oxide films in a microwave oxygen plasma / Ladislav Bárdoš [et al.]
| Другие авторы/ответственные: | Bárdoš, Ladislav |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Praha : Academia, 1983 |
| Язык: | Английский Русский |
| Серия: |
Rozpravy Československé akademie věd
Řada matematických a přírodních věd ; roč. 93, s. 3 |
Загрузка...