Газовое травление германия и кремния / Г. Н. Конарева, Л. Ф. Ронская
| Автор: | Конарева, Г. Н. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Ронская, Л. Ф. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : Институт "Электроника", 1968 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Серия: Полупроводниковые приборы ; 1968, вып. 57 |
Загрузка...