Особенности распыления различных материалов при разряде в химически активных средах: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1957―1982 гг.) / В. И. Светцов
| Автор: | Светцов, В. И. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Суслова, И. Н. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1983 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Электровакуумные и газоразрядные приборы ; 1983, вып. 5 |
Загрузка...