Оборудование триодного распыления материалов при разработке и производстве электроннолучевых и фотоэлектрических приборов / [В. И. Шаблов, Е. И. Беркушкина, З. М. Шарова]
| Автор: | Шаблов, В. И. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Беркушкина, Е. И., Шарова, З. М. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1973 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Серия: Электровакуумные и газоразрядные приборы ; 1973, вып. 8 |
Загрузка...