Проблемы надежности многоуровневой металлизации больших интегральных схем: (краткий обзор по иностранным источникам) / [А. И. Пыхтунова]
| Автор: | Пыхтунова, А. И. |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1975 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Полупроводниковые приборы ; 1975, вып. 13 |
Загрузка...