Радиационные дефекты при ионной имплантации кремния: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1969―1975 гг.) / В. В. Юдин
| Автор: | Юдин, В. В. |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1976 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Полупроводниковые приборы ; 1976, вып. 2 |
Загрузка...