Автоэпитаксиальные пленки кремния для полупроводниковых приборов и интегральных схем: (по материалам отечественной и зарубежной печати за 1960―1971 гг.) / А. М. Полянский
| Автор: | Полянский, А. М. |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1972 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Серия: Полупроводниковые приборы ; 1972, вып. 5 |
Загрузка...