Перераспределение примесей в процессе термического окисления кремния: по материалам отечественной и зарубежной печати за 1960―1970 гг. / А. В. Колосовский
| Автор: | Колосовский, А. В. |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1971 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Серия: Полупроводниковые приборы ; 1971, вып. 6 |
Загрузка...