Легированные эпитаксиальные пленки кремния / А. М. Полянский
| Автор: | Полянский, А. М. |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : Институт "Электроника", 1968 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Серия: Полупроводниковые приборы и микроэлектроника ; 1968, вып. 50 |
Загрузка...