Локальное травление в процессах изготовления полупроводниковых приборов на арсениде галия: (аналитический обзор) / [Ю. Д. Чистяков, О. С. Булатов]
| Автор: | Чистяков, Ю. Д. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Булатов, О. С. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1980 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Полупроводниковые приборы ; 1980, вып. 3 |
Загрузка...