Эллипсометрические методы исследования и контроля в полупроводниковой микроэлектронике / [Р. Р. Резвый, М. С. Финарев]
| Автор: | Резвый, Р. Р. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Финарев, М. С. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1977 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Полупроводниковые приборы ; 1977, вып. 7 |
Загрузка...