Электрохимические и электрооптический методы анализа и контроля полупроводниковых приборов и микросхем: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1965―1983 гг.) / [Т. Ф. Ваканова, А. Е. Рубцов]
| Автор: | Ваканова, Т. Ф. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Рубцов, А. Е. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1983 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Управление качеством, метрология, стандартизация, испытания ; 1983, вып. 2 |
Загрузка...