Измерение малых расходов газов при производстве изделий микроэлектроники: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1968―1985 гг.) / Р. Н. Каратаев, Н. А. Пулина, В. Б. Лысов
| Автор: | Каратаев, Р. Н. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Пулина, Н. А., Лысов, В. Б. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1988 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Управление качеством, метрология, стандартизация, испытания ; 1988, вып. 1 |
Загрузка...