Использование метода каналирования для исследования поверхностных ионнолегированных слоев в полупроводниках / Ю. П. Докучаев, И. И. Разгуляев
| Автор: | Докучаев, Ю. П. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Разгуляев, И. И., Корякина, Е. С. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1974 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Серия: Полупроводниковые приборы ; 1974, вып. 11 |
Загрузка...