Легированные пленки двуокиси кремния в производстве полупроводниковых приборов. Ч. 1: (реферативно-аналитический обзор) / А. В. Бакун, В. В. Щеглова
| Автор: | Бакун, А. В. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Щеглова, В. В. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1974 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Серия: Полупроводниковые приборы ; 1974, вып. 4 |
Загрузка...