Эпитаксия тонких пленок германия и кремния из атомных и молекулярных пучков / Л. Н. Александров, Р. Н. Ловягин
| Автор: | Александров, Л. Н. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Ловягин, Р. Н. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1974 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Серия: Полупроводниковые приборы ; 1974, вып. 2 |
Загрузка...