Автоматизация сборочных процессов в полупроводниковом производстве / Ю. В. Старюк, И. Н. Рубцов
| Автор: | Старюк, Ю. В. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Рубцов, И. Н. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1972 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Серия: Полупроводниковые приборы ; 1972, вып. 14 |
Загрузка...