Полимерные резисты для электронолитографии / Л. Я. Глазштейн, А. С. Кораблин
| Автор: | Глазштейн, Л. Я. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Кораблин, А. С. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1972 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Серия: Полупроводниковые приборы ; 1972, вып. 12 |
Загрузка...